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    FS-MEMS

    传感微结构参数测试仪

    MEMS传感器测试 动态与静态参数 Q值与谐振频率

    FS-MEMS 是一款专用于传感器结构参数测试功能的系统,为 MEMS 传感器电学参数提供晶圆级解决方案,可满足不同客户的定制化需求。

    • 内置数字 IO 模块,搭配智能探卡,无需更换线缆,通过一键操作即可完成。

    • 支持动态和静态参数测试,全面覆盖电流电压(IV)、电容电压(CV)、漏电、电阻、谐振频率、Q 值、正交系数、-3dB 带宽等关键电学参数,实现自动测试。

    • 硬件基于 PXI 架构,具有强大的系统扩展性,支持多通道并行测试,从而提高测试效率。

    • 系统内置专业测试软件,为客户提供友好的参数设置界面,操作简单,可轻松完成参数设置。

    • 包含多项功能模块,可测试角速度计(陀螺仪)、加速度计、压力传感器、光流量计、红外传感器等基于 MEMS 结构的微传感器。


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    卧龙娱乐亮点

    • 设置便捷

      无需换线
      一键完成动静态参数

    • 测试高效

      支持多通道并行测试
      提高测试效率

    • 界面友好

      友好的参数设置界面、操作简单
      可轻松完成参数设置

    卧龙娱乐应用

    • MEMS惯性传感器
      测试
      角速度计&加速度计

    • MEMS
      压力传感器
      测试

    • 基于微镜阵列的
      MOEMS传感器
      测试

    • 多轴复合式
      MEMS传感器
      测试

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